當(dāng)光進(jìn)入Lumetrics 測厚儀的干涉儀后，輸入光被等比例分束成為兩束光。這兩束光頻率相同、振動方向相同，但具有穩(wěn)定的相位差，并沿不同光路傳播。在輸出端重新匯合疊加時，會出現(xiàn)光的干涉現(xiàn)象。光強(qiáng)在疊加區(qū)域內(nèi)不是均勻分布，而是在數(shù)值之間逐點(diǎn)變化，可能超過兩光束之和，小值可能是零。通過分析這種干涉條紋的變化，可以準(zhǔn)確地測量出被測物體的厚度。
 

　　Lumetrics 測厚儀優(yōu)點(diǎn)：
 

　　-非接觸式測量：它不需要與被測物體直接接觸，避免了傳統(tǒng)接觸式測量可能對物體表面造成的劃傷、磨損等損害，尤其適用于測量柔軟、易碎或表面精度要求高的材料，如薄膜、涂層等。同時，非接觸式測量也減少了測量過程中對被測物體的干擾，能夠更真實(shí)地反映物體的實(shí)際厚度。
 

　　-高精度測量：利用光學(xué)干涉原理，能夠?qū)崿F(xiàn)較高的測量精度。它可以檢測到微小的厚度變化，對于納米級厚度的測量也能準(zhǔn)確進(jìn)行。這種高精度特性使其在對厚度要求嚴(yán)格的行業(yè)，如半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜制備等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用價值，能夠滿足這些行業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量和性能的高要求。
 

　　-實(shí)時在線測量能力：該測厚儀具備實(shí)時在線測量功能，能夠在生產(chǎn)過程中持續(xù)不斷地對物體厚度進(jìn)行監(jiān)測。這對于大規(guī)模生產(chǎn)的工業(yè)環(huán)境來說至關(guān)重要，操作人員可以根據(jù)實(shí)時測量數(shù)據(jù)及時調(diào)整生產(chǎn)工藝參數(shù)，確保產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性，提高生產(chǎn)效率，降低次品率。
 

　　-多層膜測量能力：Lumetrics 測厚儀可以單次測量多層膜的厚度，可測高達(dá)20層的膜。這一特點(diǎn)使得它在復(fù)雜的多層結(jié)構(gòu)材料測量中具有特殊的優(yōu)勢，例如在光學(xué)鍍膜、電子封裝等領(lǐng)域，能夠準(zhǔn)確地分析每一層薄膜的厚度和質(zhì)量，為產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)提供關(guān)鍵的數(shù)據(jù)支持。
 

　　-靈活的配置和多目標(biāo)測量：其探針可根據(jù)具體測量需求進(jìn)行靈活配置，可配備8個探頭。通過合理配置探頭，可以實(shí)現(xiàn)對多個不同目標(biāo)的測量，滿足復(fù)雜測量場景的要求，提高了測量的效率和靈活性，為用戶提供了厚度測量解決方案。
 

　　-快速測量速度：測量速度快是Lumetrics 測厚儀的又一優(yōu)點(diǎn)，其測量速度可達(dá)1s。在生產(chǎn)線上，快速的測量速度能夠及時跟上生產(chǎn)節(jié)奏，減少測量時間對生產(chǎn)過程的影響，提高生產(chǎn)效率，同時也有助于更頻繁地獲取測量數(shù)據(jù)，以便更準(zhǔn)確地監(jiān)控產(chǎn)品質(zhì)量。